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寫(xiě)出三種半導(dǎo)體制造業(yè)的金屬和合金()、()和()。
答案:
Al;Cu;鋁銅合金
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填空題
在半導(dǎo)體制造業(yè)中,最早的互連金屬是(),在硅片制造業(yè)中最普通的互連金屬是(),即將取代它的金屬材料是()。
答案:
鋁;鋁;銅
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填空題
對(duì)芯片互連的金屬和金屬合金來(lái)說(shuō),它所必備一些要求是()、高黏附性、()、()、可靠性、抗腐蝕性、應(yīng)力等。
答案:
導(dǎo)電率;淀積;平坦化
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