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名詞解釋

二元光學(xué)元件

答案：

用大規(guī)模的集成電路的光刻技術(shù)加工而成的二元化器件。

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二元掩膜

答案：

通過對掩膜片基上的感光膠片進(jìn)行有控制的曝光和顯影獲得

光刻

答案：

圖形曝光和圖形蝕刻。