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問答題

【簡答題】
簡述臺階覆蓋與接觸孔口。

答案：準直濺射技術是在高真空濺射時，在襯底正上方插入一塊有高縱橫比孔的平板，稱為準直器。濺射原子的平均自由程足夠長，則在準直器...

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答案：

準備→抽真空→預蒸→蒸發(fā)→取片

【簡答題】氣體直流輝光放電分為哪幾個區(qū)？其中輝光放電區(qū)包括哪幾個區(qū)？濺射區(qū)域選擇在哪個區(qū)？

答案：分為暗流區(qū)，湯生放電區(qū)，輝光放電區(qū)，電弧放電區(qū)。
輝光放電區(qū)分為
c-d：前期輝光放電區(qū)
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