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問答題

【簡答題】什么是CVD中的氣缺現(xiàn)象？解決氣缺現(xiàn)象的措施？

答案： 1）氣缺現(xiàn)象：一個(gè)入氣口的反應(yīng)室，沿氣流方向反應(yīng)劑不斷消耗，濃度降低，因此膜厚不均。當(dāng)氣體反應(yīng)劑被消耗而出現(xiàn)的反應(yīng)劑濃度...

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【簡答題】
簡述臺(tái)階覆蓋與接觸孔口。

答案：準(zhǔn)直濺射技術(shù)是在高真空濺射時(shí)，在襯底正上方插入一塊有高縱橫比孔的平板，稱為準(zhǔn)直器。濺射原子的平均自由程足夠長，則在準(zhǔn)直器...

【簡答題】熱蒸發(fā)制備薄膜的過程有哪些？

答案：

準(zhǔn)備→抽真空→預(yù)蒸→蒸發(fā)→取片