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名詞解釋
有限表面源擴(kuò)散
答案：
擴(kuò)散前在硅片表面先淀積一層雜質(zhì)，在整個(gè)過程中，這層雜質(zhì)作為擴(kuò)散源，不再有新源補(bǔ)充，雜質(zhì)總量不再變化。這種類型的擴(kuò)散稱為有...
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名詞解釋
橫向擴(kuò)散
答案：
由于光刻膠無法承受高溫過程，擴(kuò)散的掩膜都是二氧化硅或氮化硅。當(dāng)原子擴(kuò)散進(jìn)入硅片，它們向各個(gè)方向運(yùn)動(dòng)：假如雜質(zhì)原子沿硅片表...
