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名詞解釋

擴散定義

答案：材料中元素分布的不均勻會導(dǎo)致擴散行為的進(jìn)行，使得元素由濃度高處向濃度低處移動，從而產(chǎn)生的一種使?jié)舛然驕囟融呌诰鶆虻亩ㄏ蛞?..

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擴散的宏觀機制

答案：擴散是微觀粒子做無規(guī)則熱運動的統(tǒng)計結(jié)果，這種運動總是由粒子濃度較高的地方向濃度低的地方進(jìn)行，而使得粒子的分布逐漸趨于均勻...

有限表面源擴散

答案：擴散前在硅片表面先淀積一層雜質(zhì)，在整個過程中，這層雜質(zhì)作為擴散源，不再有新源補充，雜質(zhì)總量不再變化。這種類型的擴散稱為有...