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名詞解釋

閾值曝光量

答案：

使膠膜完全溶解所需最小的曝光量。

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臨界曝光量

答案：

使角膜開始溶解所需最小曝光量。

分辨率R

答案：

是對光刻工藝可以到達的最小光刻圓形尺寸的一種描述。