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名詞解釋

雜質(zhì)固溶度

答案：

在平衡條件下，雜質(zhì)能溶解在硅中而不發(fā)生反應(yīng)形成分凝相的最大濃度。

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凈化級別

答案：

以大于或等于被考慮的粒子最大濃度限值進(jìn)行劃分的等級標(biāo)準(zhǔn)。

干法腐蝕

答案：

指利用等離子體激活的化學(xué)反應(yīng)或者利用高能粒子束轟擊完成除去物質(zhì)的方法。