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名詞解釋

有限源擴(kuò)散

答案：

雜質(zhì)總量恒定；雜質(zhì)分布為高斯函數(shù)分布（Gaussian）；表面濃度隨著時間下降，結(jié)深隨著時間增加。

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雜質(zhì)固溶度

答案：

在平衡條件下，雜質(zhì)能溶解在硅中而不發(fā)生反應(yīng)形成分凝相的最大濃度。

凈化級別

答案：

以大于或等于被考慮的粒子最大濃度限值進(jìn)行劃分的等級標(biāo)準(zhǔn)。