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填空題

（）是所有特種加工方法中最精密、最微細(xì)的加工方法，是當(dāng)代毫微米加工（納米加工）技術(shù)的基礎(chǔ)。

答案：離子束加工

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激光的特性有強(qiáng)度高、單色性好、（）、方向性好。

答案：相干性好

電極絲的張力，對運(yùn)行時(shí)電極絲的振幅和加工穩(wěn)定性有很大影響，故而在上電極絲時(shí)應(yīng)采?。ǎ┙z的措施。

答案：張緊電極