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填空題

物質(zhì)存在的通常三種狀態(tài)是氣、液、固三態(tài)，被稱為物質(zhì)存在的第四種狀態(tài)是（）。

答案：等離子體

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（）是所有特種加工方法中最精密、最微細(xì)的加工方法，是當(dāng)代毫微米加工（納米加工）技術(shù)的基礎(chǔ)。

答案：離子束加工

激光的特性有強(qiáng)度高、單色性好、（）、方向性好。

答案：相干性好